新型过滤器应用于化学机械研磨 (CMP) 生产机台中以去除来自环境空气中的酸类污染物

　　一家为先进制造环境提供良率提升材料和相关解决方案的领先企业，日前发布了 VaporSorb™ 系列气体分子污染 (AMC) 过滤器的新产品。此款新型的“多合一”单过滤器可在半导体制造的化学机械研磨 (CMP) 工艺中去除关键 AMC。领先的过滤器品牌 VaporSorb 在半导体制造的关键步骤中主要用于洁净室环境和生产机台，是面向 CMP 生产机台的首款过滤器，可抵御弱酸以及其他污染物。

　　此款新型过滤器专为 CMP 机台设计，可为单过滤器中所有关键 AMC 提供均衡寿命，从而避免多片过滤器处理的复杂性。此外，此款过滤器保留了 VaporSorb 品牌业界领先的使用寿命优势，从而能够降低机台宕机时间和使用成本。

　　Entegris AMC 过滤解决方案产品营销经理 Marc Venet 表示，“正如在光刻工艺中那样，CMP 工艺中的良率问题可通过提供全面的 AMC 保护得以解决。这意味着能够抵御弱酸，以及强酸和其他污染物。借助 VaporSorb CMP 产品，我们可以提供一体化解决方案彻底解决 CMP 工艺中 AMC 引发的腐蚀缺陷。”

　　弱酸包括乙酸和甲酸（醋酸盐；CH3COO- 和甲酸盐；HCOO-）以及亚硝酸（亚硝酸盐；NO2-）等。强酸包括 HNO3、SO2、H2SO4 以及 HCl 等。这些污染物会导致 CMP 工艺缺陷和良率问题。

　　7 月，WM真人官网公司发布了业界首款“四合一”过滤器，即面向光刻机台的 VaporSorb TRK，用于捕获气体有机物、碱基类、强酸和弱酸。VaporSorb 过滤器采用 Entegris特有的混合材料，可捕获气体分子污染物，专为提供特定于应用和工厂的过滤器解决方案而量身定制。

　　核心提示：美国Entegris公司（NASDAQ： ENTG）15日在上海宣布，与福建博纯材料有限公司签订协议以扩大在中国的业务，博纯材料将在其位于泉州的工厂制造Entegris特殊化学品。 新华社记者高少华 上海（）--美国Entegris公司（NASDAQ： ENTG）15日在上海宣布，与福建博纯材料有限公司签订协议以扩大在中国的业务，博纯材料将在其位于泉州的工厂制造Entegris特殊化学品。 Entegris是一家专为全球微电子及其他高科技行业提供特殊化学品和先进材料处理解决方案的公司，2016年销售额达12亿美元。目前，Entegris在美国和韩国制造特殊化学

　　特种化学品和先进材料解决方案领域的领导厂商Entegris, Inc.宣布已完成对安诺过滤的收购。安诺已成为Entegris 的子公司，隶属于微污染控制部门。安诺为一家过滤公司，行业覆盖广泛，包括制药、医疗等。安诺总部位于杭州国家级富阳经济技术开发区新登新区。 安诺不仅为Entegris的全球产品组合增添了新的薄膜技术和过滤产品，也为Entegris在亚洲地区制造过滤产品提供了额外的基础设施。 Entegris总裁兼首席执行官Bertrand Loy表示：“物联网、人工智能和5G基础设施的需求日渐增长，给Entegris带来了新的成长机会，我们已万事俱备。收购安诺再次印证了我们对亚洲地区的大力承诺，以及扩展制造能力以迅速帮

　　美国 Entegris 公司15日在上海宣布，与福建博纯材料有限公司签订协议以扩大在中国的业务，博纯材料将在其位于泉州的工厂制造 Entegris 特殊化学品。下面就随半导体设计制造小编一起来来了解一下相关内容吧。 Entegris 是一家专为全球微电子及其他高科技行业提供特殊化学品和先进材料处理解决方案的公司，2016年销售额达12亿美元。目前，Entegris在美国和韩国制造特殊化学品，并在中国的北京、上海和西安有相关业务。此次与博纯材料的合作将在中国扩展产能，并缩短对中国客户的供货周期。 Entegris亚太区全球销售总裁李迈北在接受记者采访时表示，Entegris自2001年正式在华开设分支机构，目前来自中

　　中国上海， 2018年3月15日 — Entegris今天发布了2018年中国战略，致力于将当今全球一流制造商所使用的高端材料解决方案引进中国市场。对于中国制造商而言，要与市场上现有的厂商开展竞争，至关重要的是，在晶圆厂建设及全生命周期生产管理中选择世界一流的解决方案。Entegris旨在成为中国市场的首选供应商，目前正积极拓展在中国市场的足迹，增强技术能力，从而更好地服务于飞速发展的中国半导体制造行业。Entegris在中国的战略重点包括：助力新晶圆厂的建设，继续推进材料生产本地化，并加强实验室支持、人才培养等一系列本地化基建工作。 Entegris亚太全球销售副总裁兼中国区总经理李迈北表示：“以客户为中心一直是我们中国战

　　发布2018年中国战略 /

　　业界领先的特种化学及先进材料解决方案的公司 Entegris （纳斯达克： ENTG）6月5日宣布正在上海建设中国技术中心，旨在支持所有技术制程，计划于 2018 年底落成运营。该中心选址张江高科技园区，紧邻客户。该中心2018 年的投资额将超过 2,000 万人民币。Entegris将密切关注国内客户对实验室支持和研发的需求，考虑进一步投资扩建。   中国技术中心初期将专注于特定应用，以帮助客户加速建成投产，具体包括：测试与应用支持、定制化解决方案开发、携手OEM进行合作设计，以及为客户和OEM厂商提供培训。Entegris还计划根据客户需求，与客户联合开发前沿技术。   Entegris执行副总裁兼首席运营官 Todd Edl

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